● 6/8英寸兼容

● 刻蚀形貌好、工艺性能优越

● 高选择比、高刻蚀速率

● 低拥有成本和消耗成本

● 盒式对盒式集簇式真空传输系统

● 正方形真空传输腔，最多支持3个工艺腔

● 高可靠真空机械手

● 晶圆自校准及晶圆扫描

● 满足半导体标准的配方驱动及管理软件控制系统

● 适合小规模量产